• 主题
高级搜索  >
历史搜索 清空历史
首页> 中国专利> 一种电子束熔炼去除多晶硅中杂质砷的方法

一种电子束熔炼去除多晶硅中杂质砷的方法

页面导航
  • 摘要
  • 著录项
  • 法律信息
  • 相似文献

摘要

一种电子束熔炼去除硅中杂质砷的方法，属于电子束熔炼技术领域。方法步骤包括在料仓、熔炼坩埚、送料小车、五个凝固坩埚中均装入重掺砷硅料；装料完毕后，电子束炉抽真空，当真空度小于0.5Pa时开始预热3把电子枪；3把电子枪功率继续保持250kW熔化并熔炼硅料；将照射熔炼坩埚的2把电子枪关闭，硅液倾倒，倾倒完成后，将另1把照射凝固坩埚的电子枪功率保持250kW；最终电子枪按照250kW维持10min，200kW维持2min，150kW维持3min，120kW维持5min，100kW维持7min，80kW维持8min，50kW维持12min，30kW维持16min，20kW维持20min，0kW降束凝固。本发明可以有效去除重掺砷硅废料中的杂质砷，去除率达到99.6％，从而实现重掺砷硅废料的重复利用，且方法条件温和易于操作，生产周期短，技术稳定，生产效率高。

著录项

  • 公开/公告号CN107055546A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2017-08-18

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 大工(青岛)新能源材料技术研究院有限公司;

    申请/专利号CN201710028803.1

  • 发明设计人 李鹏廷;孟剑雄;王峰;姚玉杰;

    申请日2017-01-16

  • 分类号C01B33/037(20060101);

  • 代理机构21200 大连理工大学专利中心;

  • 代理人梅洪玉

  • 地址 266300 山东省青岛市蓝色硅谷核心区创业中心

  • 入库时间 2023-06-19 03:00:53

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2019-12-03

    实质审查的生效 IPC(主分类):C01B33/037 申请日:20170116

    实质审查的生效

  • 2017-08-18

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

  • 客服微信

  • 服务号