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基于单电子存储器的纳米压电陶瓷电源

摘要

随着高集成度、高速度和低功耗集成电路的不断发展,半导体器件的特征尺寸由微米级逐渐进入到纳米级,量子效应对器件的影响越来越大,一些全新的纳米电子器件不断被开发出来,并在生物学、医学、国防等领域展现出前所未有的应用前景。然而纳米技术的研究大多集中于开发高灵敏度等高性能的纳米材料或器件。关于嵌入式纳米尺度能源装置的研究还在起步阶段,但是现今纳米电子设备对这种能源装置的需求却与日俱增,基于单电子存储器的纳米压电陶瓷电源便是为解决此问题而提出的一种新型纳米器件。本文以压电学和纳米电子学为理论依据,在对常规尺寸多层压电陶瓷电源分析的基础上,进一步研究基于单电子存储器的纳米压电陶瓷电源的设计方案与研制方法。

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