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应用于CIGS太阳能电池窗口层的透明导电氧化物AZO薄膜的制备与研究

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摘要

透明导电氧化物ZnO：Al(AZO)薄膜由于其性能优越、成本低廉的优点，已经引起了越来越多的关注。它在微电子、半导体以及能源行业中都有着非常广阔的应用前景。本文介绍了利用磁控溅射技术制备高性能应用于CIGS太阳能电池窗口层的AZO透明导电薄膜的方法，并系统的测试和表征了薄膜的性能。

著录项

来源
《第六届华东三省一市真空学术交流会》|2009年|156-160|共5页
会议地点上海
作者
王正安; 石建华; 褚家宝; 黄素梅; 孙卓;
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作者单位

中国真空学会;

上海市真空学会;

江苏省真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;太阳能电池;
关键词
磁控溅射; 透明导电氧化物薄膜; 方块电阻; CIGS太阳能电池窗口层;

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