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SnO2/WO3复合薄膜制备及其气体敏感性能的研究

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采用射频磁控反应溅射Sn靶和W靶的方法制备了SnO2/WO3复合薄膜材料，并在此基础之上，研制了相应的NO2气体敏感薄膜传感器。通过XRD 实验研究了复合薄膜的物质结构和组份，采用定量测试方法，研究了复合薄膜传感器的制备工艺参数，以及对NO2气体的敏感特性，包括气敏传感器的灵敏度、选择性、响应恢复特性。实验结果说明了SnO2/WO3复合薄膜产生了SnWO4化合物，SnWO4材料具有较低的电阻，表现出对NO2有较好的敏感性；当SnO2/WO3的膜厚比为2.85，烧结温度为500 ℃，薄膜工作温度为90 ℃的条件下，得到NO2气敏薄膜传感器的性能最佳。

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来源
《2009第八届中国国际纳米科技（湘潭）研讨会》|2009年|1-5|共5页
会议地点湘潭
作者
林伟; 黄世震; 陈文哲;
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作者单位

中国微米纳米技术学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空镀与气相镀法;
关键词
SnO2/WO3复合薄膜; 射频磁控溅射; 气体敏感性能; 薄膜传感器;

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