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气体微流量测量技术的发展

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本文介绍了美国NIST、德国PTB、日本NMIJ、意大利IMGC、韩国KRISS、中国计量科学研究院NIM和国防科技工业真空一级计量站(兰州物理研究所LIP)的气体微流量测量技术的研究进展,并对其测量方法,测量装置性能指标进行了评述。

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来源
《中国真空学会2009年真空工程学术交流会》|2009年|41-47|共7页
会议地点西宁
作者
张涤新; 赵澜; 成永军; 冯焱; 宋瑞海;
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作者单位

中国真空学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空计（全压测量）;
关键词
气体微流量计; 测量装置; 真空校准技术;

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