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EBIC技术与ZnO压敏电阻势垒

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本文简略综述了EBIC(Electron Beam Induced Current,电子束感应电流)技术,EBIC技术是在扫描电镜基础上发展出来的一种研究半导体材料和电子陶瓷材料的p-n结、缺陷和晶界的检测技术.利用EBIC技术研究ZnO压敏电阻的晶界势垒发现在导电情况下有些晶界势垒是不激活(inactive)的,不激活的势垒与添加物的不均匀性有关,并影响ZnO压敏电阻的电性能.

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来源
《中国电子学会敏感技术分会电压敏专业学部第二十二届学术年会》|2015年|17-19|共3页
会议地点杭州
作者
范积伟;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电阻器、电位器;
关键词
氧化锌压敏电阻; 电子束感应电流; 晶界势垒; 电性能;

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