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一种微型高频动态压力传感器的设计与制作

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硅压阻式压力传感器多采用周边固支的平膜片力敏元件设计，由于硅高的弹性模量、轻的质量及采用三维微机械加工的集成电路工艺制作，因此可获得小尺度的膜片，有利于获得低量程下高的固有频率。本文报道了一种微型高频动态压力传感器的设计与制作。

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来源
《第十三届全国激波与激波管学术会议》|2008年|532-533|共2页
会议地点长沙
作者
尤彩红; 王冰; 王文襄;
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作者单位

中国力学学会;

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会议组织
正文语种
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中图分类
关键词
微型动态; 岛膜结构; 灵敏度;

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