步进应力试验在压阻式压力传感器中的应用

摘要

步进应力试验是一项不同于传统可靠性模拟实验的激发式试验技术.依据压力传感器环境条件和工作条件确定压力传感器的敏感应力。本文主要介绍低温环境下的步进应力试验的试验方法以及低温试验剖面图,针对压力传感器参数漂移提出失效判据依据,最终确定压力传感器的工作极限应力和破坏极限应力。从而为温度循环试验和可靠性强化试验方案的确定奠定基础。

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