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激光平面度仪的研究

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针对大型环形平面尤其是非连续平面(带孔、有槽、中间有凸台子、中间间断、异形平面)平面度的检测,研制了一种新型测量设备-激光平面度仪。该仪器采用了激器、五棱镜与转台组合产生基准平面,以PSD作为探测器;通过测量被测点与基准面的高度差获取平面度数据。该仪器的测量不确度为4.6μm。

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来源
《二〇〇八年高精度几何量光电测量与校准技术研讨会》|2008年|144-146|共3页
会议地点西安
作者
杨文志; 景洪伟; 曹学东; 吴时彬;
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作者单位

中国宇航学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类红外系统装置;
关键词
平面度; 非连续平面; 五棱镜; PSD;

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