摘要:利用数字化的干涉技术实现受温度、压力、湍流等具有大畸变的动态变化场波前实现高速高精度实时化的检测是非常需要的。由此提出了一种基于空间位相调制的径向剪切干涉系统,配以具有连续与脉冲光于一体的半导体泵浦固体激光器,结合一种新颖的高速图像采集同步控制系统,可以对各种连续及动态变化场波前实现共路干涉、无需参考面的瞬态、高精度的检测,波前图像采集频率在像素512×512时可达到每秒1000帧以上。系统的波前重构理论都经过了计算机仿真验证,仿真精度达1/1000λ以上。该系统检测结果与ZYGO数字波面干涉仪进行了比对,检测结果RMS优于1/15λ,并有很好的重复性;目前该系统已用于惯性约束聚变(Inertial Confined Fusion, ICF)等系统的脉冲波前检测,并且在航空航天、流体、流场的各类物理量的检测领域也具有很广泛的应用。