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磁控溅射制备锌薄膜的工艺与分析

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本文用扫描探针分析技术,研究了直流磁控溅射工艺参数对锌薄膜形态与生长的影响。结果表明,随着衬底温度和直流溅射功率的降低,锌薄膜表面形成了细密的锌岛，当溅射氢气压发生变化时,锌薄膜表面锌岛的尺寸没有明显变化,但表面粗糙度和垂直衬底最高落差随着氩气压的升高而升高。

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来源
《二〇〇八全国功能材料科技与产业高层论坛》|2008年|369-371|共3页
会议地点天津
作者

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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜技术;薄膜的生长、结构和外延;
关键词
锌薄膜制备; 磁控溅射; 薄膜生长; 薄膜密度;

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