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玻璃衬底上氮-铟共掺ZnO的制备及表征

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以醋酸锌水溶液为前驱体,分别以醋酸铵和硝酸铟为氮(N)源和铟(In)源,采用超声喷雾热分解方法在普通玻璃衬底上沉积了氮-铟(N-In)共掺杂ZnO薄膜.并采用X射线衍射,场发射扫描电镜、霍尔效应、透射光谱等分析方法,研究了N,In共掺杂和沉积温度对ZnO薄膜的晶体结构、成分及含量、形貌、电学性能、光学性能的影响.结果表明:通过氮-铟共掺杂,ZnO基薄膜具有良好的的电学性能,但是均为n型导电,与相关文献中的结果完全相反.

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来源
《第七届中国国际纳米科技（武汉）研讨会》|2008年|283-286|共4页
会议地点武汉
作者
韩彬; 武光明; 邢光建; 王怡; 江伟; 李东临;
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作者单位

中国微纳米技术学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类特种结构材料;
关键词
ZnO薄膜; 超声喷雾热分解; 氮铟共掺; 玻璃衬底; 场发射扫描电镜; 光学性能;

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