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自组装单层膜对超薄类金刚石碳膜的摩擦学影响

摘要

采用了两种有机自组装单层膜作为过渡层在si基底上制备超薄类金刚石碳结构薄膜,这种以自组装单层膜作为过渡层的超薄碳膜相对没有过渡层的碳膜表现出更好的磨损寿命。

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