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单室VHF-PECVD技术制备单结微晶硅及非晶硅/微晶硅叠层薄膜太阳电池的研究

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本文采用甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)技术,针对单室VHF-PECVD制备微晶硅薄膜太阳电池存在交叉污染的问题,有意地进行了污染控制以及p/i/n型电池各层材料的优化研究。继而获得了单室VHF-PECVD技术制备单结微晶硅薄膜太阳电池的效率达到6.3%(1cm2)。同射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术制备的非晶硅薄膜太阳电池组合,所研制的非晶硅/微晶硅叠层太阳电池的效率达到了10.6%(0.25cm2)。

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来源
《第十届中国太阳能光伏会议》|2008年|354-358|共5页
会议地点常州
作者

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作者单位

中国可再生能源学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类太阳能电池;
关键词
微晶硅薄膜; 太阳能电池; 化学气相沉积; 等离子体增强;

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