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新型MEMS光开关的研究

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文章简介了MEMS的特点与应用，详述了以微光机电系统(MOEMS)为基础的光开关的原理，结构与分类。并详细地讨论了几种最新型的MEMS光开关技术，同时分析比较了这些元件的工作原理与应用上的优缺点。在论文的后面部分作者设计并分析了一种新型的硅基PZT压电复合多层膜悬臂梁驱动的光开关，并提供了一种新型硅基PTZ压电复合膜悬梁驱动光开关的制作方法，希望能为新型光开关的研究和发展提供一定的理论依据和参考。

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来源
《第八届中国光电通信论坛》|2008年|369-379|共11页
会议地点杭州
作者
王巍霓; 张名亮; 唐棣芳;
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作者单位

中国通信学会;

中国电子元件行业协会;

中国电器工业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类集成光学器件;
关键词
MEMS; 新型光开关; PTZ压电复合膜; 悬臂梁驱动; 微镜; 微光机电系统;

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