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PDP中MgO薄膜结构和光致发光性质的研究

摘要

本文研究了不同氧分压参数制备MgO薄膜的结晶结构和光致发光性质.对薄膜样品分别进行了XRD和FESEM测试与分析,并用光致发光谱分析薄膜的发光性质.结果表明:低氧分压下MgO薄膜具有(111)和(200)择优取向;高氧分压下MgO薄膜具有(111)择优取向.薄膜在紫外线激发下出现了350nm~600nm的可见光发射带,与MgO的缺陷能级有关.

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