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大气压射频放电中N2、O2粒子间相互作用数值模拟

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摘要

在大气压条件下,基于多离子流体力学模型,采用数值计算方法研究了射频(RF)放电过程中电子密度、电子能量密度、氮与氧带电粒子密度等在相互作用过程中的时空演化特征。模拟了放电极板间的电子、离子分布,分析了粒子间的碰撞效应等,讨论了各种粒子成分数密度随时间和空间的变化规律。

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来源
《第7届全国表面工程学术会议暨第二届表面工程青年学术论坛》|2008年|270-274|共5页
会议地点武汉
作者

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作者单位

中国机械工程学会;

中国腐蚀与防护学会;

湖北省机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类真空镀与气相镀法;
关键词
大气压; 射频放电; 数值模拟; 电子密度;

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