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离子注硼n型太阳电池的退火特性研究

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对比研究了离子注硼发射极n型太阳电池的快速热退火和恒温炉管退火特性.通过TCAD软件模拟和SIMS测试,从理论上研究了硼杂质和团簇缺陷的扩散分布规律.通过少子寿命测试(QSSPC)得知,增加热预算将显著提高载流子激活率,降低发射极饱和电流密度.制备了钝化发射极太阳电池,从器件水平上研究了退火条件对电池性能的影响.结果发现利用恒温炉管退火20min的电池效率最优,达到18.85％,而采用更低热预算退火条件的电池性能较差.

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来源
《第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会》|2014年|175-180|共6页
会议地点北京
作者
梁鹏; 韩培德; 胡少旭;
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作者单位

中国可再生能源学会;

中国光伏行业协会;

国家可再生能源中心;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM914.4:TM910.3;
关键词
n型太阳电池; 离子注硼发射极; 退火特性; 电性能;

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