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低表面浓度发射极对产业化高效背钝化电池(PERC)的影响

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研究和优化了一种分步式扩散,并将其应用于PERC的选择性发射极上,选择性发射极的形成是通过刻蚀发射极的方式形成.相较于传统的一步式扩散,分步扩散具有更低的表面浓度以及饱和电流密度J0e.对比了分步扩散三种不同方阻(45Ω/□,55Ω/□,65Ω/□)以及一步扩散方阻(60Ω/□)的接触电阻Rs,刻蚀前后的饱和电流密度J0e.,刻蚀后的方阻都控制在140Ω/□左右.相对于传统的一步式扩散,方阻55Ω/□的分步式扩散的效率最高,提升了0.15％.

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来源
《第十四届中国光伏大会暨2014中国国际光伏展览会》|2014年|65-69|共5页
会议地点北京
作者
叶枫; 邓伟伟; 陈达明; 董建文; 丁建宁; 袁宁一; 冯志强; Pierre J. Verlinden;
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作者单位

中国可再生能源学会;

中国光伏行业协会;

国家可再生能源中心;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类结构;
关键词
单晶高效背钝化电池; 低表面浓度发射极; 分步式扩散机制; 饱和电流密度;

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