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一种背钝化高效多晶硅PERC双面电池工艺

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本发明涉及一种背钝化高效多晶硅PERC双面电池工艺，去除硅片表面损伤层并进行双面抛光，运用金属辅助湿法刻蚀法进行双面黑硅制绒，再进行去金属盐清洗。然后，采用具备浓度梯度的两步碱溶液对绒面进行扩孔修饰；高温炉中POCl3双面沉积扩散、背面抛光同时去除磷硅玻璃及扩散层；然后硅片背面用ALD沉积AlOx、并运用PECVD设备在AlOx薄膜和前表面扩散层分别沉积的SiNx薄膜；运用激光技术在背钝化层开槽开孔、丝网印刷烧结背铝浆、背电极及正电极的步骤。本发明的电池通过特殊制绒技术，可以有效提高单多晶的陷光结构，同时保证相对低的表面复合速度，结合双面电池的双面发电优势和弱光响应特性，可以大幅提升电池光电转换效率。

著录项

公开/公告号CN109671802A

专利类型发明专利
公开/公告日2019-04-23

原文格式PDF
申请/专利权人上海神舟新能源发展有限公司;
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申请/专利号CN201710959746.9
发明设计人张松;梁小静;赵晨;刘慎思;郑飞;陶智华;张忠卫;阮忠立;
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申请日2017-10-16
分类号H01L31/18(20060101);H01L31/0236(20060101);H01L31/068(20120101);
代理机构31225 上海科盛知识产权代理有限公司;
代理人陈亮
地址 201112 上海市闵行区江月路505号
入库时间 2024-02-19 09:00:07

法律信息

法律状态公告日

法律状态信息

法律状态
2019-05-17

实质审查的生效 IPC(主分类):H01L31/18 申请日:20171016

实质审查的生效
2019-04-23

公开

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