首页> 中文会议>四川省电子学会2007年学术年会 >谐振式微加速度计的发展现状

谐振式微加速度计的发展现状

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

本文介绍了国内外谐振式微加速度计的发展状况，分析了基于振梁轴向应力变化、基于振梁横截面积变化与基于静电刚度变化的等三类谐振式微加速度计的工作原理，并总结了种类谐振式微加速度计的特点及发展方向。

著录项

来源
《四川省电子学会2007年学术年会》|2007年|339-343|共5页
会议地点四川绵阳
作者
周吴; 何晓平; 苏伟; 李柏林;
展开▼
作者单位

中国电子学会;

四川省电子学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TH824.4;
关键词
谐振式; 微加速度计; 振梁; 静电刚度;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 谐振式微加速度计静电刚度应用分析及实验 [J] . 刘恒 ,舒进华 ,张玉 . 仪表技术与传感器 . 2021,第010期
2. 谐振式微加速度计及其频率测量电路设计与实验 [J] . 刘恒 ,张玉 ,舒进华 . 仪表技术与传感器 . 2021,第012期
3. 一种谐振式微加速度计表芯非线性动力学分析及实验 [J] . 刘恒 ,刘清惓 ,孟瑞丽 . 中国惯性技术学报 . 2012,第004期
4. 谐振式硅微加速度计闭环控制系统的分析与设计 [J] . 王巍 ,王岩 ,庄海涵 . 中国惯性技术学报 . 2012,第006期
5. 静电刚度谐振式微加速度计及其接口电路分析 [J] . 刘恒 ,刘清惓 ,孟瑞丽 . 传感技术学报 . 2011,第011期
6. 基于静电刚度的谐振式微加速度计闭环锁相驱动 [C] . 刘恒 ,苏伟 ,何晓平 . 中国微米纳米技术学会第十一届学术年会 . 2009
7. 静电刚度谐振式微加速度计相关技术研究 [A] . 刘恒 . 2011

获取原文

客服邮箱：kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备：11010802029741号 ICP备案号：京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有

客服微信
服务号