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一种低激励电压RF MEMS开关的分析

摘要

本文对一独特的MEMS微波开关模型进行了理论分析和仿真,该模型利用扭转臂和杠杆的原理来达到比较低的激励电压,并且获得较好的隔离度。该开关工作在DC-4GHz,插入损耗<1dB,在1GHz的隔离度>40dB。

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