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组装、封装技术与微系统

摘要

产品微小型化和智能化的需求产生了微系统,促使了硅集成技术、混合集成技术、组装和封装的发展。本文概要地介绍了微系统及MEMS的概念,发展沿革、相关工艺技术及其与SMT等组装、封装工艺的关联性。

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