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曲面基底上的新型微细加工技术及应用

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文中介绍了新颖的光敏HfO2/SiO2溶胶-凝胶玻璃的合成过程.采用红外傅里叶变换分析了HfO2/SiO2溶胶-凝胶玻璃感光聚合后和聚合前的内部结构变化.采用X射线光子吸收光谱分析了HfO2/SiO2溶胶-凝胶玻璃的成分.描述了采用新颖的光敏HfO2/SiO2溶胶-凝胶玻璃结合软刻蚀方法在曲面基底上制作变间距光栅和微透镜阵列的工艺过程,并给出了曲面光栅和曲面微透镜阵列的相关光学检测性能.

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来源
《2007年中俄衍射光学技术高端研讨会》|2007年|81-93|共13页
会议地点西安
作者
谢永军;
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作者单位

中国宇航学会;

红外与激光编辑部;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类干涉与衍射;集成光学器件;
关键词
衍射光学元件; 光栅; 微透镜阵列; 软刻蚀; 微细加工;

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