應用像散法於顯微鏡自動對焦之研究

著录项

• 来源
  《第六届海峡两岸剂量与品质研讨会》|2007年|87-91|共5页
• 会议地点 台北
• 作者

  李建興; 许巍耀; 陳念祖; 何承舫; 陳柏睿; 陳峰志; 陳建人;

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• 作者单位

  中国计量测试学会;

  台湾计量工程学会;

  台湾中原大学;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 TH741.8;
• 关键词

  自动对焦; 显微镜检测; 像散法; 四象限光感测器; 像散对焦; 位移变动量;