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铁电薄膜退火方法的研究

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以锆钛酸铅薄膜(PZT)为例,分析了国内外铁电薄膜退火的各种方法。针对解决铁电薄膜基底高温生长工艺与硅集成电路承受温度较低的不兼容及器件性质劣化的难题,分别对普通炉子退火、快速热退火及激光退火进行了详细的分析比较。激光低温退火技术有望成功地在未来应用PZT铁电薄膜制作组件时,增加其制备工艺设计的弹性和可行性。

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来源
《第六届中国功能材料及其应用学术会议》|2007年|807-808|共2页
会议地点武汉
作者
田雪雁; 徐征;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国物理学会;

中国光学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类薄膜的生长、结构和外延;
关键词
锆钛酸铅薄膜; 铁电薄膜; 高温生长工艺; 快速热退火; 激光低温退火;

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