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MSM结构的Ⅲ族氮化物紫外光探测器

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MSM是紫外探测器的一种很有吸引力的结构。回顾了近年来GaN和A1GaN的MSM结构紫外探测器的研究进展，介绍了目前先进的AIGaN材料体系MSM紫外探测器的性能和结构等，综述了目前存在的问题和改进的方向。

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来源
《陕西省物理学会2007年学术年会》|2007年|46-50|共5页
会议地点西安
作者
竹有章; 吴长江; 王莲芬;
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作者单位

陕西省物理学会;

中国物理学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类紫外技术及仪器;肖特基势垒栅场效应器件;
关键词
MSM结构; Ⅲ族氮化物; A1GaN; 紫外探测器; 肖特基; 光电导体;

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