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集成式石英晶体谐振器的力-频特性及稳定性

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根据晶体振动的限波理论及有限元分析，将多对电极集成在同一晶体基片上，构成集成式石英晶体谐振器。利用对径加力的方法研究了这种集成式结构中处于不同位置的电极对应的谐振器的力-频特性及不同位置的谐振器之间以差频形式输出时的力-频特性。同时利用晶体频稳测试仪对这种结构的谐振器的振动状态的稳定性进行了测试和分析。实验结果表明，同一晶体基片上不同位置的谐振器的力-频特性各不相同，对应的力-频转换系数的差异最大可达6倍以上。用集成电路驱动谐振器工作时，振动频率稳定度都可达到10-10的量级。

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来源
《第二届全国压电和声波理论及器件技术研讨会》|2006年|274-277|共4页
会议地点杭州
作者
田文杰; 宁永怀; 鄂然; 崔媛媛;
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作者单位

中国力学学会;

中国声学学会;

浙江省力学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类高频振荡器;
关键词
集成式石英谐振器; 力频特性; 差频输出; 频率稳定性; 晶体振动;

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