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WO3基低浓度NO2气敏传感器的研究

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分别采用改进前后的溶胶-凝胶法制备WO3纳米材料,制作成直热式球形气敏元件,对低浓度的NO2气体进行测试.结果表明,改进后的溶胶-凝胶法制备的WO3材料,粒径小,表面疏松,对低浓度甚至极低浓度的NO2气体有很好的灵敏度,响应恢复时间很快,选择性好,而且所有元件都在较低的工作电压下有最高的灵敏度,说明工作温度低有利于降低功耗。

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来源
《第十一届全国湿度与水分测量技术学术交流会暨第九届全国气湿敏传感技术学术交流会》|2006年|50-53|共4页
会议地点成都
作者
王大伟; 福建省微电子集成电路重点实验室; 黄世震; 福建省微电子集成电路重点实验室;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TN304.92;TP212.2;
关键词
WO3基纳米材料; 溶胶-凝胶法; NO2气体计测; 气体传感器; 气敏元件;

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