气体传感器用Au掺杂WO3基复合涂层的组织及气敏性研究

左明鑫; 李月英

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气体传感器用Au掺杂WO3基复合涂层的组织及气敏性研究

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为了提高气体传感器的测试精度,选择等离子喷涂工艺来制备Au掺杂WO3基(WO3/Au)复合涂层,并对复合涂层的组织和气敏性展开分析。结果表明:在WO3/Au复合涂层的X射线衍射谱图上,只观察到WO3与Au对应的两种衍射峰,没有出现其他物相的衍射峰;相对于纯WO3涂层,WO3/Au复合涂层没有发生颗粒尺寸、结晶度与微观结构的显著改变;WO3/Au复合涂层的吸脱附曲线发生了分离的现象,出现了脱附滞后的情况。当温度上升,气体传感器用纯WO3涂层和WO3/Au复合涂层都出现了响应值先升高到峰值又逐渐降低的现象,其中最大值出现在300℃处;不同于纯WO3涂层,气体传感器用WO3/Au复合涂层可以实现对NO2的快速响应,并获得更短的恢复时间,说明WO3/Au复合涂层具备更优的气敏性。

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来源
《粉末冶金技术》 |2020年第4期|283-288|共6页
作者
左明鑫; 李月英;
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作者单位

郑州科技学院电气工程学院;

郑州450064;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类金属表面防护技术;
关键词
等离子体喷涂; WO3涂层; 掺杂; 显微组织; 气敏性;

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