脉冲激光激发金刚石/硅结构光声效应的有限元分析

著录项

• 来源
  《中国声学学会2006年全国声学学术会议》|2006年|207-208|共2页
• 会议地点 厦门
• 作者

  鞠恒毅; 米小兵; 张淑仪;

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• 作者单位

  中国声学学会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 激光技术、微波激射技术;
• 关键词

  金刚石薄膜; 光声效应; 有限元分析;