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陈涛; 席珍强; 汪雷; 杨德仁;
中国可再生能源学会;
四川大学;
氮化硅薄膜; 少子寿命; 化学气相沉积; 硅太阳电池; 减反射膜; 钝化效果;
机译:电感耦合PECVD沉积非晶硅薄膜钝化的宽工艺温度窗口的研究
机译:微波PECVD碳氮化硅薄膜:FTIR和椭圆孔率法研究
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:PECVD氮化硅中氢脱附及缺陷钝化的研究
机译:氢在PECVD沉积的氮化硅薄膜中的重新分布。
机译:射频增强等离子体化学气相沉积(RF pECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性质和沉积速率的影响
机译:氢 - 等离子体和pECVD-氮化物沉积对线带硅太阳能电池中体积和表面钝化的影响
机译:氮化硅作为抗反射膜的无硅烷等离子体辅助CVD沉积以及基于硅电池的光电池的氢钝化
机译:感应耦合化学气相沉积法,非晶硅薄膜,氮化硅薄膜和使用瑟勒夫制成的非晶薄膜晶体管
机译:化学气相沉积法在大面积玻璃基板上高沉积速度沉积氮化硅薄膜的方法
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