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聚酰亚胺悬臂MOEMS电磁光开关的优化设计

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本文利用聚酰亚胺(PI)优良的机械、绝缘、耐热等性能,设计出基于PI膜的磁控光开关.给出合理的线圈宽度与间隙宽度,提出了八边形的线圈绕组结构,计算得出PI膜悬臂梁光开关驱动电压与工作距离的关系,并对悬臂梁长度、宽度、厚度进行优化.在驱动电压为2V时,自由端位移达到2mm.

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来源
《第八届中国微米/纳米技术学术年会》|2006年|1735-17381743|共5页
会议地点南京
作者
孔庆峰; 中国科学院研究生院; 梁静秋; 中国科学院研究生院; 钟砚超; 中国科学院研究生院; 侯凤杰; 中国科学院研究生院; 李佳; 中国科学院研究生院; 孙德贵;
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作者单位

中国微米/纳米技术学会;

中国仪器仪表学会;

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光纤通信;各种开关;
关键词
光开关; 电磁驱动; 悬臂梁; 聚酰亚胺;

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