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一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置

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本发明公开一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置，属于引信全电子安全系统领域。本发明公开一种基于电热驱动式微镜的硅基MOEMS光开关装置，主要由输入光纤、输出光纤、可动式微镜、电热保险机构和电热驱动机构组成。MOEMS光开关的通和断是通过固定式光纤和可动式微镜组成的反射式光路的通和断实现，可动式微镜的运动通过电热驱动器机构实现，微镜上设计有保险槽和定位槽，利用电热保险机构卡入保险槽和定位槽实现对微镜的保险和定位，确保MOEMS光开关的通或断状态。本发明要解决的技术问题为：解决引信全电子安全系统电磁兼容性差的问题，具有下述优点：(1)结构尺寸小；(2)抗过载能力强；(3)电磁兼容性好；(4)工作可靠、适用性强。

著录项

公开/公告号CN109932782B

专利类型发明专利
公开/公告日2020-11-27

原文格式PDF
申请/专利权人北京理工大学;
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申请/专利号CN201910287022.3
发明设计人代俊;李凯权;吴娇娇;常辉;熊壮;谢晋;隋丽;石庚辰;
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申请日2019-04-11
分类号G02B6/35(20060101);
代理机构
代理人
地址 100081 北京市海淀区中关村南大街5号
入库时间 2022-08-23 11:23:19

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