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三维微触觉MEMS传感器测试校准的方法与系统

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本文针对微纳测量领域的需要,设计了一种三维微触觉MEMS传感器.为了标定该传感器的性能参数,提出了以高精度纳米测量机(NMM)为核心的测试校准方法;加工了NMM测头模块;制作了压阻信号调理和采集电路;搭建了测试校准系统.该系统具有移动范围大,精度高,更换方便,易于控制和记录数据等特点.利用它对传感器在Z轴方向的输出作校准,结果证实校准曲线线性良好,传感器在三个方向上耦合很小,其Z方向测量分辨力能够达到30 nm,迟滞性小于±0.05％.

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来源
《第八届中国微米/纳米技术学术年会》|2006年|1504-1508|共5页
会议地点南京
作者
赵大博; 栗大超; 李源; 傅星; 胡小唐;
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作者单位

中国微米/纳米技术学会;

中国仪器仪表学会;

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TP212.6;
关键词
MEMS; 坐标测量机; 纳米定位; 微触觉传感器; 校准;
入库时间 2022-08-17 10:40:30

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