用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉传感器的性能测试

李源; 邵力; 栗大超; 胡小唐; 赵大博

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用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉传感器的性能测试

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针对一种用于微结构几何量测量的微机电系统(MEMS)三维微触觉式传感器,开展了传感器的性能测试,系统评价了该传感器的性能.为了检测传感器的输出信号,提出了敏感梁上排布16个压阻的三维差动式压阻排布方式,并研究相应的压阻信号的全桥检测方法和微弱信号的调理电路,研究了基于高精度坐标定位平台的传感器三维性能测试方法和测试装备.通过实验,获得传感器的轴向100 nm的分辨力,4.7μm的量程,低于0.15%的线性误差,低于0.5%的轴间耦合度;以及在横向100 nm的分辨力和低于0.37%的线性误差等性能参数.

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来源
《计量学报》 |2008年第1期|21-25|共5页
作者
李源; 邵力; 栗大超; 胡小唐; 赵大博;
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作者单位

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

上海市计量测试技术研究院,上海,201203;

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室,天津,300072;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类几何量计量;
关键词
计量学; 微结构几何量测量; 微机电系统; 微触觉式传感器; 性能测试;

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