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基于频闪成像的MEMS静动态特性测试技术

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采用集成频闪成像结合显微干涉技术研制了微机电系统(MEMS)的静动态性测试系统。通过控制LD闪光的频率与MEMS器件激励信号的频率一致，采用五步相移干涉算法及去包裹算法恢复MEMS器件某时刻的三维静态形貌。调整光脉冲与激励信号源的相对延时可获得周期内不同时刻的多组干涉图像.对这些干涉图像进行组内、组间去包裹并消除面内运动的影响后可获得MEMS器件垂向变形及离面运动的情况.垂运动的分辨率可达5nm.通过对可变形反射镜(DMs)的动静态测试，验证了此技术的适用性及可靠性。

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来源
《2006全国光电子与光电信息技术学术研讨会》|2006年|493-496|共4页
会议地点哈尔滨
作者
向东; 陈海清; 王青玲; 李扬;
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作者单位

哈尔滨工业大学;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类理论;
关键词
微机械系统; 频闪成像; 相位解缠; 特性测试; 显微干涉; 相移干涉算法; 去包裹算法; 可变形反射镜;

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基于频闪成像的MEMS静动态特性测试技术

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