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用于微机电系统磁流体压力微传感器的实验研究

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由于磁流体具有磁性,在磁场作用下力的平衡发生变化会产生磁流体的流动而产生压力,将这种现象用到微系统中可以获得1-1000 mbar数量级的压力值.在试验装置中,用压阻压力传感器得到了40 mbar的压力.这些试验结果表明结合磁流体和微系统有很大的潜能,为发展新的应用提供研究基础.

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来源
《第二届长三角地区传感技术学术交流会》|2006年|62-66|共5页
会议地点杭州
作者
徐军民; 王瑞金; 杨娅君;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

浙江省仪器仪表学会;

上海市传感技术学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电磁流体的诊断技术（测量）;
关键词
微机电系统; 磁流体; 压力传感器;

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