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深刻技术在微真空器件中的应用研究

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微波真空电子器件的频率正在向毫米波、亚毫米波甚至太赫兹频率扩展,随着器件频率的提高,高频结构的尺寸越来越小,传统的机械加工方法已经不能满足零部件精度的要求,需要借助微细加工技术,特别是深刻技术,如LIGA,DRIE等.本文的目的在于对目前微真空电子器件的现状进行分析,研究深刻技术在高频真空器件中的应用.

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来源
《第十三届全国电子束、离子束、光子束学术年会》|2005年|360-365|共6页
会议地点长沙
作者
冯进军;
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作者单位

中国电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电真空器件制造工艺;微波电子管;
关键词
深刻技术; 微型真空电子器件; 行波管; 速调管; 返波振荡器;

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