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2.45GHz平面微带螺旋电感微波等离子体源的建模研究

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本文利用平面微带螺旋电感的等效电路对2.45GHz频率进行建模分析,并在此基础上对其模型进行优化设计,以期得到更高的品质因数Q值,这种电感主要用作低压小功率微波等离子体源.研究表明,影响电感品质因数的参数有电感线圈的匝数N,微带线的宽度,匝间距等,本文对这些参数取不同的数值进行比较,获得较理想的高Q值的电感线圈尺寸.

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来源
《第十二届全国微波能应用学术会议》|2005年|222-225|共4页
会议地点成都
作者
曹焕丽; 廖斌; 朱守正;
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作者单位

中国电子学会;

四川省电子学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电感器、线圈、扼流圈;等离子体物理学;
关键词
平面微带螺旋电感; 品质因数Q; 微波等离子体;

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