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2.45GHz ECR 等离子体源

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该文简要描述了一台频率为2.45 GHz 的电子回旋共振(ECR)等离子体源的特性测试，表明放电室内的等离子体密度和电子温度与静态磁场、微波输入功率和真空度等参数均有着密切关系。当磁场达到共振条件87.5mT，等离子体很易产生，但等离子体密度的最大值却出现在93mT处。ECR源在真空度0.1￣1 Pa间均能运行。由石英、 Al<,2>O<,3>陶瓷和BN构成的微波输入窗有良好的阻抗匹配，在微波功率200￣700W间，反射系数仅为1％，等离子体密度达5.8×10<'11>cm<'-3>，电子温度为3￣12 eV，该源的寿命超过300小时。

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来源
《'99全国荷电粒子源粒子束学术会议》|1999年|7-11|共5页
会议地点成都
作者

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作者单位

中国电工技术学会;

中国电子学会;

中国电机工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类注入装置;
关键词
电子回施共振; 等离子体源; 特性;

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