微波ECR等离子体源离子注入法制备DLC薄膜

机译：用于等离子体浸没离子注入和沉积工艺的微波ECR等离子体源的改进

机译：拉曼光谱法评估和预测DLC薄膜的力学性能（第一份报告）：双极性PBII和D法使用甲苯源气制备DLC薄膜

机译：碰撞离子能量对微波Ecr等离子体Cvd沉积DLC薄膜键合和力学性能的影响

机译：射频和ECR-微波等离子体系统中等离子体浸没离子注入对高铁素体不锈钢进行氮化

机译：微波等离子体化学气相沉积法在钛6铝4钒合金颞下颌关节假体上制备纳米晶金刚石薄膜。

机译：新型金刚石薄膜合成策略：无氢的微波等离子体CVD法制备甲醇和氩气氛

机译：微波功率对ECR等离子体增强直流磁控溅射制备氢化类金刚石薄膜性能的影响*

机译：ECR微波等离子体沉积类金刚石薄膜

机译：微波电子回旋加速器电子共振（ECR）离子源，具有大，均匀分布，轴向对称的ECR等离子体体积

机译：耦合微波ECR和射频等离子体源进行等离子体处理

机译：用于离子束图形和注入的小锥型微波ECR等离子体源