抑制体硅CMOS器件闭锁的新方法

摘要

本文从体硅CMOS器件的闭锁效应入手,提出了抑制闭锁的一种新方法-伪闭锁路径法.在详细探讨了伪闭锁路径的设计方法后,文章还提供了设计实例,给出了仿真和试验结果.伪闭锁路径法能够较好抑制体硅CMOS器件的永久闭锁问题,但不能避免辐射引起的剂量率扰动.

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