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分级退火在PZT铁电薄膜中的运用

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采用溶胶-凝胶和射频磁控溅射相结合的方法制备了PZT铁电薄膜.用溶胶-凝胶法制备一层PZT薄膜作为籽晶层.在衬底PZT(seedlayer)Pt/Ti/SiO2/Si上用射频磁控溅射Pb1.1(Zr0.3Ti0.7)O3陶瓷靶生长厚0.5μm的PZT铁电薄膜.采用快速分级退火的方法对PZT铁电薄膜进行热处理.在450℃预退火5分钟,575℃后退火5分钟的分级退火,PZT铁电薄膜获得了良好的热释电性能.热释电系数、介电常数和介电损耗分别为p=1.6×10-8C.cm-2.k-1,ε=500,tanδ=0.022.所制备的PZT铁电薄膜可望用于非制冷热释电红外探测器。

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来源
《第五届全国夜视技术交流会暨2005年全国瞬态光学与光电子技术交流会》|2005年|177-182|共6页
会议地点云南西双版纳
作者
王忠华; 赵维艳; 李振豪; 普朝光; 杨培志; 林猷慎;
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作者单位

中国兵工学会;

中国光学学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类 TM223;TM205.1;
关键词
PZT铁电薄膜; 溶胶-凝胶法; 射频磁控溅射法; 籽晶层; 分级退火; 热释电性能; 红外探测器;

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