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MEMS制造中的快速成型方法

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本文分析了传统MEMS加工工艺的特点及其效率低、成本高、复杂三维结构加工能力不足的局限,对以克服上述不足为目标而出现的各种快速成形微制造技术的研究现状和研究成果进行了综述.结合快速成形的降维制造思想和微压印技术二者的优点,提出了新的工艺方案,并对该方案中的关键问题及研究情况进行了讨论.

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来源
《2005两岸三地先进成型与模具技术研讨会》|2005年|333-339|共7页
会议地点西安
作者
王权岱; 段玉岗; 丁玉成; 卢秉恒;
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作者单位

中国机械制造工艺协会;

中国机械工程学会;

中国模具工业协会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类制造工艺;
关键词
MEMS; 分层制造; 压印光刻; 快速成型;

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