薄膜型柔性位移传感器的研究

著录项

• 来源
  《四川省电子学会电子测量与仪器专委会2005年学术年会(第十二届)》|2005年|108-110|共3页
• 会议地点 四川绵阳
• 作者

  庄志; 文勇;

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• 作者单位

  四川省电子学会;

  中国电子学会;

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• 会议组织
• 正文语种
• 原文格式 PDF
• 中图分类 TM938.862;TP212.12;
• 关键词

  位移传感器; 电涡流传感器; 薄膜传感器; 工作原理; 球面间隙测量; 可靠性;