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新型纳米三坐标测量机Z轴的研制

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介绍了一种新型纳米三坐标测量机Z轴的结构设计.提出了两级驱动式结构,即通过粗动与微动相结合的驱动方式实现纳米级精度.第一级粗动,采用2个NANOMOTIONLS4系列大行程纳米电机从两侧同时驱动,克服了单侧驱动的不利因素,使得机构运行时更加稳定;第二级微动,采用压电陶瓷驱动,通过柔性铰链位移缩小结构将位移分辨率提高到1nm.计算和分析表明,这种新型的两级驱动式结构可以满足纳米三坐标测量机Z向测量高精度、大行程要求。

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来源
《第五届全国精密工程学术研讨会》|2005年|138-141|共4页
会议地点深圳
作者
王继臣; 胡鹏浩; 卫兵;
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作者单位

中国仪器仪表学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类坐标器和自动坐标器;
关键词
纳米三坐标测量机; Z轴; 柔性铰链; 两级驱动式结构; 压电陶瓷驱动;

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