微纳米三坐标测量机的高精度恒温箱研制

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• 来源
  《计量学报》 |2015年第5期|455-459|共5页
• 作者

  冯建; 李瑞君; 何亚雄; 范光照;

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• 作者单位

  合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230009;

  合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230009;

  合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230009;

  合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,安徽合肥230009;

  台湾大学机械工程学系,台北10617;

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• 原文格式 PDF
• 正文语种 chi
• 中图分类 几何量计量;
• 关键词

  计量学; 微纳米三坐标测量机; 恒温箱; 半导体制冷片; 真空绝热板; 自然对流;