首页> 中文会议>第五届全国精密工程学术研讨会 >折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析

折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析

页面导航

摘要
著录项
相似文献
相关主题

摘要

设计了带有折叠弹簧的静电驱动光开关水平扭转微镜,利用折叠弹簧代替直扭梁,增加扭梁的长度,有效降低微镜驱动电压.微型铰链结构使微镜保持在单一扭转工作模式下,其弯曲模式的影响可以忽略.利用MATLAB7.0进行仿真分析,获得微镜驱动电压与扭梁长度的关系曲线.利用ANSYS8.0获得了折叠弹簧式微镜结构的模态分析和谐响应分析结果,其工作模态频率约为1.77kHz,远低于其他非工作模态频率.微镜结构的谐振频率约为1.8kHz,能满足MEMS光开关对开关响应时间的要求。

著录项

来源
《第五届全国精密工程学术研讨会》|2005年|81-85|共5页
会议地点深圳
作者
张昱; 潘武;
展开▼
作者单位

中国仪器仪表学会;

展开▼
会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类光纤元件;电子光学仪器;
关键词
光开关; 微镜结构; 静电驱动电压; 折叠弹簧; 有限元分析; 微型铰链结构;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析 [J] . 张昱 ,潘武 . 光学精密工程 . 2005,第0z1期
2. MEMS微镜的系统级设计与分析 [J] . 王锁成 ,郝永平 ,刘双杰 . 工具技术 . 2015,第3期
3. 静电驱动MEMS扭转微镜系统的分岔与吸合 [J] . 叶坤涛 ,罗艳 . 江西理工大学学报 . 2017,第003期
4. 串联电容对MEMS扭转微镜吸合角的影响 [J] . 罗伟 ,杨国珂 ,叶坤涛 . 仪表技术与传感器 . 2014,第004期
5. MEMS扭转微镜静态特性的温度效应分析 [J] . 叶坤涛 ,罗伟 . 江西理工大学学报 . 2014,第001期
6. 基于复合静电驱动结构的硅微机械扭转微镜 [C] . 栗大超 ,天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 ,吴文刚 . 第八届中国微米/纳米技术学术年会 . 2006
7. 静电扭转MEMS微镜的建模与控制研究 [A] . 白诚 . 2017

折叠弹簧式MEMS水平扭转微镜的设计与分析

摘要

著录项

相似文献

相关主题

期刊订阅