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微电铸的析氢现象研究

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本文讨论了微电铸工艺中的析氢现象.析氢是微电铸中的附加反应,如处理不当,将会使铸层产生缺陷,如针孔和麻点等,同时引发氢脆,从而降低铸层的机械性能.通过对微电铸原理及析氢机理的分析,提出稳定pH值、增加搅拌和过滤循环、添加润湿剂以及采用脉冲电流等四种有效措施.实验证明,以上措施解决了析氢现象对铸层质量的影响,并获得了满意的铸层.

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来源
《中国微米纳米技术第七届学术年会》|2005年|446-448|共3页
会议地点大连
作者
肖日松; 杜立群; 刘海军; 褚德南; 刘冲;
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作者单位

中国机械工程学会;

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会议组织
正文语种
原文格式 PDF
中图分类电铸;
关键词
微电铸; LIGA; 析氢;

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